在光伏產(chǎn)業(yè)追求高效能、低成本的發(fā)展浪潮中，TOPCon 激光摻雜設(shè)備逐漸成為提升電池效率和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵設(shè)備之一。海目星憑借深厚的激光技術(shù)積淀，研發(fā)的TOPCon激光摻雜設(shè)備憑借自主技術(shù)優(yōu)勢(shì)，為光伏制造工藝的優(yōu)化升級(jí)提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支撐。

海目星的TOPCon激光摻雜設(shè)備采用BSG（硼硅玻璃）作為摻雜源，通過(guò)獨(dú)特的工藝流程實(shí)現(xiàn)高效的激光摻雜。具體來(lái)說(shuō)，設(shè)備首先通過(guò)擴(kuò)散爐推進(jìn)高硼表面濃度的P++層，但不進(jìn)行氧化，以P++層作為激光摻雜源，再進(jìn)行激光摻雜和氧化工藝。這一創(chuàng)新工藝不僅解決了硼摻濃度問(wèn)題，還簡(jiǎn)化了選擇發(fā)射極的制備工藝流程，顯著提升了生產(chǎn)效率。

具體參數(shù)方面，海目星的TOPCon激光摻雜設(shè)備尺寸為長(zhǎng)×寬×高：5500×2300×2500（不包含三色燈、除塵機(jī)、冷水機(jī)），適用硅片尺寸涵蓋182*182mm-230*230mm，能夠滿足不同尺寸硅片的生產(chǎn)需求。在產(chǎn)品性能上，海目星的TOPCon激光摻雜設(shè)備碎片率率控制在≤0.02%，圖形精度和對(duì)準(zhǔn)精度均達(dá)到±15um，確保了生產(chǎn)過(guò)程的高精度和高質(zhì)量。產(chǎn)能方面，182尺寸硅片產(chǎn)能≥8400pcs/h（柵線數(shù)量<132），210尺寸硅片產(chǎn)能≥7300pcs/h（柵線數(shù)量<152），能夠滿足大規(guī)模生產(chǎn)的效率要求。

海目星的TOPCon激光摻雜設(shè)備以其先進(jìn)的技術(shù)、卓越的性能和強(qiáng)大的定制能力，為光伏制造工藝的優(yōu)化升級(jí)提供了有力支持。通過(guò)簡(jiǎn)化工藝流程、提升生產(chǎn)效率和精度，海目星的設(shè)備不僅提高了光伏電池的生產(chǎn)質(zhì)量，還降低了生產(chǎn)成本，為光伏產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展注入了新的動(dòng)力。